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近日，研微（江蘇）半導(dǎo)體科技有限公司（下文簡稱“研微半導(dǎo)體”）完成數(shù)億元A輪融資，投資方包括永鑫方舟、金圓資本、合肥產(chǎn)投等知名投資機構(gòu)。募集資金將用于未來研發(fā)投入及擴充團隊。

研微半導(dǎo)體成立于2022年，總部位于無錫，專注于高端ALD、PECVD以及特色外延設(shè)備技術(shù)，涵蓋tALD、PEALD、SI EPI、SiC EPI 、PECVD等核心技術(shù)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于高端集成電路、功率器件、射頻元件及先進封裝領(lǐng)域。

目前，研微半導(dǎo)體的設(shè)備已有多臺通過Fab廠驗證，并廣泛應(yīng)用于高端集成電路、功率器件、射頻元件及先進封裝等領(lǐng)域，有效實現(xiàn)了高端半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)替代。此外，公司還配備了智能化軟件平臺（Exsequi），支持工藝調(diào)試與遠程維護，確保了設(shè)備的穩(wěn)定性和先進性。

永鑫方舟投資團隊認為：半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)門檻高，研發(fā)、生產(chǎn)和驗證周期長，且需要半導(dǎo)體設(shè)備廠商與下游晶圓廠等長期合作和磨合，進而使得設(shè)備符合晶圓廠的生產(chǎn)體系和產(chǎn)生信任基礎(chǔ)。目前海外大廠的高端半導(dǎo)體設(shè)備處于禁運狀態(tài)，即使通過轉(zhuǎn)運或者購買二手設(shè)備也無法及時獲得大廠的調(diào)試、售后等服務(wù)。